什么是準分子燈?
準分子燈是一種以準分子氣體為發光介質的真空紫外/深紫外光源,通過高壓放電激發特定混合氣體(如氙、氪、氬與鹵素的組合)形成不穩定的準分子,準分子衰變時會釋放出單一波長的高強度紫外光子。它的核心特點是波長單一且可精準調控(常見波長包含172nm、222nm、308nm等),光子能量高,能實現裂解化學鍵、殺菌消毒、表面改性等特殊功能,廣泛應用于半導體加工、精密清洗、醫療光療、環保降解等領域。

在半導體光刻、尖端材料表面改性、深紫外光清洗及高效臭氧生成等領域,172納米(nm) 波段的真空紫外線正扮演著越來越關鍵的角色。然而,長期以來,一個核心痛點制約著該技術的精準化與產業化發展:如何對172nm這一特殊且極具挑戰性的波長進行準確、可靠且便捷的功率測量?
近日,速德瑞成功交付了一臺為客戶深度定制的172nm專用紫外輻照計。這不僅是速德瑞在深紫外測量領域技術實力的又一次飛躍,更是對準分子燈全產業鏈,從光源研發、生產校準到終端應用的一次重磅賦能。

速德瑞此次交付的定制款172nm輻照計,為解決用戶需求而設計:
· 核心光學系統:確保172nm光高效、無損耗地傳輸至探測器。
· 專屬探測與濾波:精密濾光片,僅對172nm附近波段具有高響應度,有效屏蔽其他波長干擾。
· 堅固與便攜性:儀器結構堅固,兼顧實驗室的精準與工業現場的耐用需求,搭配直觀的觸摸屏和數據記錄功能。

應用價值:貫穿產業鏈的“標尺”
這臺專業的測量儀器,將成為推動準分子燈技術發展的關鍵“標尺”:
1. 對準分子燈制造商:
研發優化:精確測量172nm數據并輸出,加速新品研發與性能優化。
生產質檢:實現出廠產品的標準化功率檢測,建立質量信譽,提升產品附加值。
壽命測試:客觀監測燈源在長期運行中的光衰情況,為壽命評估提供核心數據。
2. 對下游應用客戶:
工藝控制:在紫外光清洗、光氧化等應用中,精確控制輻照劑量,是保證清洗效果或反應程度一致性的關鍵。
設備維護:定期監測燈管輸出,預測性更換燈源,避免因光源衰減導致的工藝失敗或產品批量缺陷。
工藝開發:為新材料、新工藝的研發提供可量化、可復現的光源參數,縮短研發周期。
速德瑞深耕光譜測量,定義行業標準
此次172nm紫外輻照計的成功交付,并非偶然。它源于速德瑞在紫外、可見、紅外全光譜測量領域長達十余年的技術積淀,以及對客戶個性化需求的深刻理解。從常見的UVA、UVB、UVC波段測量,到如今的172nm真空紫外極限挑戰,速德瑞始終致力于為科研與工業客戶提供最可靠的“光之度量衡”。
我們相信,精準的測量是先進制造的基礎。速德瑞將持續聚焦紫外測量技術的深耕與創新,針對更多特殊波長、特殊場景的測量需求,提供從核心傳感器到完整檢測系統的定制化服務,助力前沿制造產業實現更高精度、更穩定可靠的工藝控制。
如需進一步了解定制化測量方案,歡迎隨時聯系我們。




